近日，我国战略新兴产业再传捷报，泛半导体产业智能装备生产企业合肥欣奕华智能机器有限公司(以下简称“合肥欣奕华”)开发的首台硅基OLED蒸镀机成功导入台州观宇科技有限公司(以下简称“观宇科技”) 量产线并完成全彩点亮，这标志着我国泛半导体产业核心工艺装备实现自主化迈入新的里程碑。

　　据悉，观宇微显示器采用无彩膜、自发光native RGB AMOLED技术，可实现高像素密度、高亮度、高对比度、高色彩饱和度与低功耗。作为国内OLED装备研发制造厂商，合肥欣奕华成功为其完成了核心工艺设备——硅基OLED蒸镀机的开发攻关。这是国内首台全自主研发面世的硅基OLED蒸镀机，是合肥欣奕华基于长期技术积累，攻克“卡脖子”技术难题，继成功研发G1(可蒸镀基板尺寸200*200mm)、G2.5(可蒸镀基板尺寸370*470mm)OLED蒸镀机及G6 H(可蒸镀基板尺寸925*1500mm)蒸镀机关键装置之后的又一重大突破，也是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。

　　蒸镀机是OLED显示器件制备环节的核心设备，蒸镀机把有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上，是推动相关技术实现产业化的最关键因素，也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。合肥欣奕华通过借鉴OLED蒸镀机研发设计经验，依托OLED蒸镀机蒸发源设计和对位技术的二次创新，攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时，对于某些特殊蒸镀材料，通过蒸镀趋势模拟，开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀。

　　合肥欣奕华现拥有3万平米的蒸镀机研制洁净车间，各类先进研发设备和仪器20余台套，组建了一支国际化高端人才团队，形成了完善的蒸镀机技术研发体系。合肥欣奕华OLED事业部总经理曹景博介绍：“合肥欣奕华已形成了完善的蒸镀机相关技术研发体系，在蒸发源、真空腔体、高精密对位、封装、工艺控制等方面相关技术已达到国际先进水平。”据了解，合肥欣奕华研发的OLED蒸镀机已实现多台销售业绩，是国内研发、生产、销售走在前列的蒸镀机制造厂商。其更以创新为驱动力，紧跟市场形势，加快推进硅基蒸镀机等新设备的研发步伐。恰如观宇科技总经理陆隆鸣所说：“持续勇于创新，保持开放合作，是公司迈向永续的基础。”合肥欣奕华CEO张海涛表示：“公司完成了国内首台全自主开发的量产硅基蒸镀机交付，一方面得益于我们对蒸镀机及其关键装置开发的长期技术积累，另一面得益于客户对我们的认可和支持，是我们与客户共同创新的成果。我们非常看好元宇宙带动下硅基OLED显示技术的未来发展，愿意持续为产业的快速发展做出我们的贡献。”

　　硅基OLED显示器件以单晶硅芯片为基底，利用IC技术，像素密度可达到2000PPI以上，精细度远远高于传统显示器件，可与AR/VR等设备实现完美契合。随着市场应用的持续扩大，对硅基OLED微显示产品的关注程度日渐提升。中国电子信息产业发展研究院预计2023年硅基OLED市场规模有望达900亿美元。近来，元宇宙热度高居不下，AR/VR作为构建元宇宙的关键设备备受追捧，国内外大型互联网科技企业纷纷布局。根据国际数据公司IDC的数据，2021年第一季度中国VR产业市场规模超400亿元，同比增长52.4%，同时有行业数据显示，中国VR产业的市场规模，2023年预计将达到1051.6亿元。在利好的市场前景面前，国内相关企业近几年纷纷加大硅基OLED相关产业投资，未来将带来较大的硅基蒸镀机需求市场空间。